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第376章 极紫外光刻机

作品:掀翻时代的男人作者:为情成痴
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安正国一愣,连忙道:“有,都储存着呢,我马上找人来进行实验。”

说着,安正国立刻召集人手,搬来相应的半导体材料。

半导体芯片生产主要分为IC设计、IC制造、IC封测三大环节。

所谓IC,就是集成电路的英文简写。

IC设计是高端技术,也是inter等公司,能屹立于半导体行业巅峰最重要的因素之一。

主要根据芯片的设计目的,进行逻辑设计和规则制定,并根据设计图制作掩模,以供后续光刻步骤使用。

而IC制造,就是半导体芯片的制造了。

一般,要实现芯片电路图从掩模上转移至硅片上,并实现预定的芯片功能。

包括了光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。

至于IC封测,就是完成对芯片的封装和性能、功能测试,是产品交付前的最后工序。

IC设计就不提了,苏扬有苹果A6处理器的技术,其中就包括了32nm芯片的设计。

另外,商城挂着的inter酷睿系列,也有45nm——14nm芯片的工艺技术。

而在IC制造中,光刻又是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤,耗时长、成本高。

其中的难点和关键点,在于将电路图从掩模上转移至硅片上。

这一过程,目前只能通过光刻,才能最有效地实现。

所以,光刻的工艺水平,往往直接决定了芯片的制程水平和性能水平。

安正国找来技术人员和材料,在苏扬的指导下,这些专业生产芯片的员工,初步了解到这台光刻机的使用流程。

光刻的原理,实际上非常简单。

在硅片表面覆盖一层具有高度光敏感性的光刻胶,再用光线透过掩模照射在硅片表面。

被光线照射到的光刻胶,会发生反应。

此后,再用特定的溶剂洗去被照射或未被照射的光刻胶,就实现了电路图从掩模到硅片的转移。

这和华夏古代的印刷术,实际上有一些相似之处,但光刻技术却比印刷术难了千万倍。

一般的光刻步骤,有气相成底膜、旋转涂胶、软烘、曝光、显影、坚膜。

接着,就是进行检测,主要是显影检测,让合规的硅片进入后续的蚀刻流程。

所谓蚀刻,便是通过化学或物理的方法,有选择地从硅片表面,除去不需

…。。
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