光台必须快速移动，接着曝光下一个区域。
要在快速移动中实现纳米级的对准，这个难度就相当于，你要从眨眼之间，端着一盘菜从BJ天安门冲到上海外滩，恰好踩到预定的脚印上，菜还保持端平不能洒。
当然，这还有一系列外围的技术难题，比如，室外空气干净1万倍的超洁净厂房，防止机器抖动的磁悬浮装置，以及配套的计算光刻软件等等。
这就是为什么光刻机被称为“半导体工业皇冠上的明珠”的原因了。
制造一台极紫外光刻机，就是在挑战人类工业文明的极限。
……
在听到清大唐教授团队居然能研发出稳定的极紫外光源的时候，曹阳是肉眼可见的兴奋。
因为这件事情真的太伟大了，意味着曹老板并没有白活这一辈子，他也没有白投入芯片领域的发展，现在能推动解决三个难题当中的一个就已经非常了不起了。
所以曹阳赶紧给张如京答复说自己一定要去参观。
……
唐教授的实验室并不是很大，在外面摆放着许多的电脑，然后里面的隔间有一面是透明玻璃，在实验室当中摆放着许多的设备，曹阳根本叫不上名字，通过一些奇形怪状的线串联起来。
曹阳在外面看着这一切，觉得真的是很神奇。
他前世打交道最多的是电脑，还很少接触物理实验室什么的，只有在刘强他们的硬件制造部门才能看到类似的高科技研发场景。
唐教授带领大家参观着，然后给他们做着介绍和科普，让曹阳他们简单了解一些实验室当中的极紫外光光源是怎么做出来的。
博米公司也算是团队最大的金主了，为了推进国内的芯片事业，博米没少下本钱。
不过这种事情本来就是需要大量的金钱和时间堆出来的，早堆早好。
晚堆带来的代价更高。
前世国内的光刻机总是被卡脖子，其实有人才的原因，也有时间的原因，更多的也是资金投入不足的原因。
很多资本都希望能在短期内获得回报，关键是光刻机的研发注定是一个非常烧钱的过程，而且在短期内很难看到回报，加上一些骗经费的事情发生，国内热衷于此的企业和单位就更少了。
不过这一世曹阳对芯片领域非常看重，把关也极其严格，入股中芯国际以后，就在花大价钱推动相关的光刻机发展。
早发展总是更好的，因为这玩意儿靠外国肯定靠不住，最后还
…。。