电路时刻有两种方式,一种是湿法蚀刻,一种是干法。
湿法蚀刻是用化学试剂来蚀刻电路板,从而把曝光好的电路图留下来。这种方法一般用在精度不高的芯片、电子电路等产品当中。
但海豚I-1芯片制程精度达到130纳米,目前只能用干法蚀刻才能完成电路蚀刻。
而我们国家在等离子束光源发生器这方面的技术还落后国外,光源产生的等离子束发散度比较大,蚀刻好的电路有些粗糙,非常有可能会漏电!
胡明镇皱着眉头,把蚀刻机这方面的情况跟许振鸣介绍了一番。总之一句话,这种设备也不简单!
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